SS101是一款基于RDL First WLP 的Underfifill工藝需求而開發的高穩定性高精度、集晶圓自動上下料功能的噴膠系統。
系統構成
作業流程
特性優點
應用領域
參數型號
GS600SWA晶圓級噴膠機x1臺
GS600SWB晶圓級噴膠機x1臺
PC101晶圓上下料機x1臺
占地空間
WxDxH : 3075x 2200x 2200mm
支持12寸晶圓噴膠。
十級防塵，匹配晶圓級封裝環境要求。
高ESD標準，高于IEC、ANSI標準。
在晶圓流轉與作業全過程中對溫度進行精細管控并自動校正，滿足CUF工藝需求的同時，保障產品安全。
全程錄像監控，便于產品流轉、作業過程觀察與問題追溯與分析。
應用領域
特殊工藝參數型號
CUF專用壓電噴射系統
膠黏劑保溫+壓電陶瓷溫度閉環控制
規避溫度影響導致系統不穩定性
三重低液位報警
電容式檢測＋磁性檢測＋系統計重
避免缺膠，導致作業不良
真空吸附加熱治具
治具整面溫差≤±1.5℃，溫度實時監測與補償
避免作業過程中產品溫度變化導致作業不良
下壓式軌道
真空吸附治具始終保持不動，軌道上下運動
避免真空吸附治具往復運動作業
平面度丟失導致作業不良
平臺式上下料系統
入料順序自動排序，在Plasma時效內完成作業
友好的人機接口設計
視覺系統
具備定位和檢測功能
作業前檢測跳過來料不良
作業后檢測防止產生批量不良
特性優點應用領域
可選配置參數型號|
工作機位作業前后檢測，末站專業檢測，實現多重防呆。 |
采用連線方式，最大程度減少人工干預。 |
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作業軌/傳輸軌分離，單臺停機不影響整線運行。 |
實時MES系統對接，上傳生產狀態信息，系統異常狀態報警。支持SECS/GEM半導體通訊協議。 |
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百級防塵設計（通過建模與仿真，配置防塵部件及線纜，氣體過濾等）。ESD防靜電設計（符合IEC61340、ANSI/ESDS20.20標準) 。防震動（礦物質框架，具有良好吸震性，有效減少高速運動帶來的沖擊）。 |
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